激光共聚焦顯微鏡

簡要描述：激光共聚焦顯微鏡配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合，
能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。

產(chǎn)品型號：OLS5100
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2026-01-16
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激光共聚焦顯微鏡有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。
激光共聚焦顯微鏡高度測量原理

在測量高度時，顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。根據(jù)非連續(xù)的焦點位置（Z）和檢測光強度（I）可以估算每個像素的光強變化曲線（I-Z曲線），并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規(guī)則性相對應(yīng)，因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似，通過峰值強度數(shù)據(jù)可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像（擴展圖像）